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如何消除等離子清洗機(jī)的氟元素污染

文章出處:等離子清洗機(jī)廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時(shí)間:2023-07-25
等離子清洗工藝是半導(dǎo)體和薄膜厚膜電路生產(chǎn)工藝的精密清洗輔助工序,常作用在元器件封裝前和芯片鍵合前。清洗效果的好壞對(duì)最終產(chǎn)品質(zhì)量有決定性的影響?,F(xiàn)有的等離子清洗工藝存在雜質(zhì)污染問題,通過改變反應(yīng)倉內(nèi)絕緣零件的材料,能夠有效解決等離子清洗工藝中的氟元素污染問題,工件清洗效果得到很大改善。

等離子清洗又稱為干法清洗,是在射頻電源的激發(fā)下,將氧氣、氬氣等工藝氣體激發(fā)成離子態(tài),進(jìn)而與待清洗工件表面的雜質(zhì)發(fā)生化學(xué)物理反應(yīng),反應(yīng)生成的產(chǎn)物再通過真空泵將其抽走,從而達(dá)到清洗目的,等離子清洗的好壞直接決定了成品率的高低。等離子清洗可應(yīng)用于半導(dǎo)體、厚膜電路、PCB、連接器和繼電器等行業(yè)的精密清洗,常作用在元器件封裝前、COG前。等離子清洗也可用于塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域。

隨著半導(dǎo)體技術(shù)水平的不斷更新迭代、制程工藝逐步優(yōu)化、各生產(chǎn)廠家對(duì)產(chǎn)品潔凈度的要求不斷提高,清洗工藝中附帶產(chǎn)生的雜質(zhì)也逐漸被發(fā)現(xiàn),包含各種不同化學(xué)成分的雜質(zhì)會(huì)對(duì)整個(gè)工藝流程產(chǎn)生不可逆的影響。因此,消除影響清洗工藝中產(chǎn)生的雜質(zhì),成為亟待解決的問題。雜質(zhì)的去除會(huì)大大提升產(chǎn)品質(zhì)量,實(shí)現(xiàn)工藝性能的大幅增強(qiáng),提高良品率及產(chǎn)品可靠性。


如何消除等離子清洗機(jī)的氟元素污染


在等離子清洗機(jī)清洗的過程中,腔室內(nèi)部含氟元素的零件,在射頻電源激發(fā)形成等離子體的清洗過程中,會(huì)將含氟元素零件進(jìn)行離子化,形成以氟離子或含氟化合物的形式附著在工件表面,對(duì)芯片表面造成不可逆的污染,大大降低工件良品率,并對(duì)后續(xù)工藝形成嚴(yán)重影響。
如何消除等離子清洗機(jī)的氟元素污染
陶瓷與硅膠圈代替含氟元素材質(zhì)

可以通過將等離子清洗機(jī)反應(yīng)腔室內(nèi)部所有含氟元素的零件進(jìn)行替換,主要是密封圈,和電極板托條處會(huì)使用聚四氟乙烯,可能會(huì)引入氟元素污染,因此改變反應(yīng)腔室內(nèi)部零件材料,包括電極板兩側(cè)托條,門密封圈等零件,用陶瓷、硅膠等在射頻條件下穩(wěn)定性更高的材質(zhì)代替聚四氟等所有含氟元素的零件材料,如圖1所示。可以避免反應(yīng)腔室中有氟元素污染的存在,從而大大提高了產(chǎn)品質(zhì)量,為下一道工序及整個(gè)產(chǎn)品制程提供了可靠保障。
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