真空等離子清洗機設(shè)備報警原因分析及其解決辦法

文章出處：等離子清洗機廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時間：2022-09-27

真空等離子清洗機作為一種綠色無污染的高精密干法清洗設(shè)備，可以有效去除表面污染物，該設(shè)備具有清洗快速、安全環(huán)保、低溫經(jīng)濟、操作簡單等優(yōu)勢，廣泛應(yīng)用于刻蝕、表面活化、材料改性、表面清洗等領(lǐng)域。現(xiàn)將我司真空等離子清洗機系列設(shè)備多年來運行中的常見報警故障和典型案例進行匯總分析，并將報警現(xiàn)象、維修過程和故障總結(jié)進行簡要陳述，以便于廣大用戶遇到類似或者相同故障進行借鑒參考。

1、真空等離子清洗機顯示氣體壓力過低,工作氣體耗盡報警
出現(xiàn)這種故障時，可能是氣體未開啟或氣體已耗盡，需要檢查腔體底部的破真空所用氣路電磁閥是否正常工作，線路有無出現(xiàn)斷路或短路的現(xiàn)象。

2、真空泵倒計時時間故障
當遇到此類故障時需要先檢查真空泵抽真空能力，故障排除后再點擊復(fù)位鍵，出現(xiàn)滲氣或真空門未關(guān)到位都會影響真空泵抽真空能力。除了這些外還需要逐級檢查等離子真空處理系統(tǒng)中的各連接點，看是否有管道連接不良或損壞的情形。

3、壓縮空氣壓力低于設(shè)定值報警
此報警也叫破空氣體壓力過低報警，是因為壓縮空氣的氣壓不足導(dǎo)致的，主要出現(xiàn)于配有高真空氣動擋板閥的真空等離子清洗機，出現(xiàn)此報警時需檢查CDA是否正常供氣到設(shè)備端。確認供氣壓力有無過高或過低，還要看減壓表的報警值設(shè)定是否正確，處理這些之外還要再對電氣線路進行檢查。

4、真空計故障報警
真空計故障報警最可能的原因就是由于真空計損壞造成的，這時需要我們檢查真空計的控制線路是否有斷路和短路的情況。

5、真空等離子清洗機的急停未復(fù)位或已按下報警
此時需檢查急停是否被按下，若是未出現(xiàn)這類情況，就要檢查急停線路。

6、RF匹配異常報警
調(diào)節(jié)射頻等離子體的入射功率和反射功率,使發(fā)生器與等離子體阻抗相匹配

7、反應(yīng)倉泄露率過大報警
檢查真空腔體的氣密性，看是否有哪里漏氣，檢查各連接處的漏率，對于泄漏點的處理方法主要是對密封件進行定期檢查并及時更換，這樣就避免了由于密封件老化等原因引起的高真空抽不到預(yù)設(shè)值的情況。

8、真空等離子清洗機的真空泵過載保護
當真空等離子清洗機出現(xiàn)報警情況時，其中有一種可能就是真空泵過載保護，在發(fā)生此類情況時，需要先檢查系統(tǒng)參數(shù)有沒有變化，因為在這種情況下，設(shè)備會中止供電，系統(tǒng)的各參數(shù)會歸零，于是才會響起警報聲，如果經(jīng)過檢查后系統(tǒng)參數(shù)并沒有發(fā)生變化，就需要確認熱繼電器是否自動保護，按復(fù)位鍵后啟動真空等離子處理系統(tǒng)的真空發(fā)生系統(tǒng)。如無自動保護，就需要檢查電氣線路是否有斷路或短路情況。若是以上均無異常情況，就再檢查真空泵情況。

以上是真空等離子清洗機常見報警原因分析和解決方案的匯總分析。最后需要強調(diào)的是平時還應(yīng)該加強培訓(xùn)操作使用人員，所有操作者必須掌握該設(shè)備的操作方法、性能、注意事項、維護保養(yǎng)，所有人員嚴格按照操作規(guī)程使用設(shè)備，所有操作者能知曉該設(shè)備的各種報警信息和如何處理故障。定期做真空漏率測試，以保證較好的高真空度，定期清洗反應(yīng)腔室，尤其是上電極以及氣體噴淋孔。