什么是等離子清洗機(jī)？清洗原理是什么？
文章出處：等離子清洗機(jī)廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時(shí)間：2023-08-12
什么是等離子清洗機(jī)？等離子清洗機(jī)是一種高效、環(huán)保的清洗設(shè)備。簡(jiǎn)單點(diǎn)來(lái)說(shuō)，等離子清洗機(jī)，是產(chǎn)生等離子體的發(fā)生裝置，通過(guò)等離子清洗機(jī)產(chǎn)生的高能等離子體，可以用來(lái)對(duì)材料表面進(jìn)行清潔，活化改性，刻蝕等作用，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)材料表面的清洗，或者提高表面的浸潤(rùn)性能等。
等離子清洗機(jī)中的等離子體是如何產(chǎn)生的
等離子清洗機(jī)大都通過(guò)氣體放電產(chǎn)生等離子體，氣體放電是指施加外電場(chǎng)使電子運(yùn)動(dòng)碰撞氣體原子或分子，引起氣體分子、原子電離，產(chǎn)生新的電子和激發(fā)態(tài)活性粒子的現(xiàn)象。
拿常見(jiàn)的真空等離子清洗機(jī)舉例：
真空等離子清洗機(jī)
真空等離子清洗機(jī)，大都采用射頻容性耦合等離子體發(fā)生方式：即為兩極板間充入工作氣體時(shí)，外施射頻激勵(lì)，放電電路接入特定的匹配網(wǎng)絡(luò)后，對(duì)一組電極施加射頻電壓，從而產(chǎn)生交變電場(chǎng)，電極間的氣體受到交變電場(chǎng)的作用，起輝后產(chǎn)生無(wú)序的高能量的等離子體。
真空等離子清洗機(jī)工作原理圖
等離子清洗機(jī)的清洗原理
a) 反應(yīng)性氣體等離子清洗
在真空狀態(tài)下，高頻電源的高壓交變電場(chǎng)將氧氣、氫氣等反應(yīng)性氣體電離成高能量和高反應(yīng)性的等離子氣體。這些高活性基團(tuán)被吸附在工件表面，與表面污染物發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生產(chǎn)其他氣體并脫離工件表面，隨排氣系統(tǒng)排出。O2適合對(duì)助焊劑等有機(jī)類(lèi)污染物進(jìn)行處理，H2適合處理金屬氧化物。
O2→2O*+2e
3nO*+{CH2}n→nCO2+nH2O
b) 物理性氣體等離子清洗
在真空狀態(tài)下，高頻電源的高壓交變電場(chǎng)將氬氣等惰性氣體電離成高能量的等離子氣體。活性粒子在偏壓作用下被加速產(chǎn)生動(dòng)能，設(shè)備射頻系統(tǒng)的下電極接地，確保所有的高能電子不能穿越電極接觸到工件表面，避免對(duì)敏感器件造成電子損傷。只有中性原子團(tuán)下電極高速轟擊工件表面，使污染物汽化，與工件剝離，隨排氣系統(tǒng)排出腔體外，產(chǎn)生清洗效果。由于是靠純物理撞擊方式剝離污染物，此方法適合對(duì)各類(lèi)污染物進(jìn)行去除。
以上就是國(guó)產(chǎn)等離子清洗機(jī)廠家納恩科技關(guān)于什么是等離子清洗機(jī)的簡(jiǎn)單介紹，等離子清洗機(jī)是使用電能催化氣體進(jìn)行物理化學(xué)反應(yīng)的設(shè)備，是一種干法清洗設(shè)備，它排除了所有濕法清洗帶來(lái)的危險(xiǎn)，且無(wú)廢液產(chǎn)生。等離子高能離子的方向性不強(qiáng)，可以深入到物體微小孔和不規(guī)則圖形結(jié)構(gòu)內(nèi)部進(jìn)行清洗，受工件形狀的影響較小。
廣東省深圳市光明區(qū)華明城高新產(chǎn)業(yè)園A棟5樓 
張經(jīng)理 17304403275