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低溫等離子體表面處理儀

  • 產(chǎn)品型號(hào):NE-PE10F
  • 性能特點(diǎn):射頻電源,多層處理電極板
  • 產(chǎn)品用途:材料表面活化、改性
  • 產(chǎn)品介紹
  • 產(chǎn)品參數(shù)
低溫等離子體表面處理儀主要由供氣控制單元,真空室,等離子發(fā)生器,真空泵,等幾部分組成,通過電容式耦合射頻輝光放電的方式產(chǎn)生低溫等離子體。等離子體中含有豐富的離子、電子、自由基等活性粒子,可以對(duì)材料表面產(chǎn)生多種效應(yīng)。在刻蝕和清潔作用的同時(shí),等離子體中的活性粒子將羧基(-COOH)、羥基(-OH)等含氧功能基團(tuán)引入材料表面,增強(qiáng)材料表面的活性位點(diǎn),提升材料的表面能,實(shí)現(xiàn)材料的表面活化。
 

低溫等離子體表面處理儀工作流程:


設(shè)定低溫等離子體處理儀參數(shù)→樣品放入處理腔正極板上→打開真空泵→待真空度降至100Pa以下→開啟放電電源→處理完畢取出樣品

低溫等離子體表面處理儀真空室處理腔原理圖如圖1.1所示
 低溫等離子體表面處理儀真空處理腔原理圖
圖1.1 低溫等離子體表面處理儀真空處理腔原理圖

 

低溫等離子體表面處理原理:


等離子體改性高分子材料時(shí),主要是其中的活性粒子起作用。這些活性粒子在高分子材料表面產(chǎn)生許多復(fù)雜的作用,包括刻蝕、交聯(lián)、表面刻蝕、產(chǎn)生自由基、引入極性基團(tuán)等。

極性基團(tuán)的引入
在等離子體表面處理時(shí),高分子表面會(huì)形成大量自由基,與大氣中的氧接觸后則會(huì)發(fā)生氧化作用,形成親水性的基團(tuán)。如羥基、羧基等,會(huì)使材料的親水性、粘結(jié)性得到改善,同時(shí)通過等離子體表面處理之后,聚合物表面的元素含量比例會(huì)發(fā)生比較明顯的變化。

等離子處理后還可以在聚合物表面引入各種極性基團(tuán),如NH3等離子體或N2和O2混合等離子體可以在高分子表面引入胺基、亞胺基或腈基等。

表面交聯(lián)
等離子體轟擊聚合物表面,可使聚合物表面產(chǎn)生自由基,正負(fù)電子,穩(wěn)態(tài)和亞穩(wěn)態(tài)的原子。其中電子、原子、自由基攻擊聚合物表面而移除聚合物表面的H原子而形成活性網(wǎng)點(diǎn),聚合物表面的自由基活性點(diǎn)相互反應(yīng)而形成表面交聯(lián)。

表面刻蝕
在等離子體處理過程中,等離子體中的活性粒子會(huì)高速撞擊到材料的表面,并造成刻蝕作用,使材料表面變得凹凸不平,增加材料表面的粗糙度??涛g主要分為兩種,物理濺射和化學(xué)刻蝕。

低溫等離子體表面處理儀屬于干式處理設(shè)備,沒有化學(xué)改性中不可或缺的烘干、廢水處理等工序,具有工藝簡單、節(jié)約能源、綠色無污染等優(yōu)點(diǎn)。更重要的是,等離子體處理僅僅涉及材料淺表面,作用深度在納米級(jí)別,一般不會(huì)影響材料本身的整體性能。

型號(hào) NE-PE10F低溫等離子體表面處理儀
射頻電源 13.56MHz
功率 0-300W可調(diào)
真空度 <30Pa
工藝氣體通道 兩路(標(biāo)配,可定制多路)
腔體尺寸 長230mm×高175mm×深270mm
腔體材質(zhì) 不銹鋼
外形尺寸 長600mm×寬530mm×高574mm

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